U sensoru di pressione di l'escavatore hè u sensoru più utilizatu, hè un termu generale per a rilevazione di gas, liquidu, solidu è altre sustanzi trà l'energia di forza induttiva, include ancu.
Manometers chì misuranu a pressione di l'aria sopra è vacuum gauges chì misuranu a pressione di l'aria sottu. Ci sò parechji tippi di sensori di forza, u metudu tradiziunale di misurazione hè di applicà a deformazione è u spustamentu di elementi elastici per sprime u mantenimentu di u mutore di iniezione elettrica, ma u so voluminu hè grande, goffo, è a pruduzzioni ùn hè micca lineare. Cù a crescita di e cumpetenze di microelettronica, l'applicazione di materiali semiconduttori effettu piezoresistive è elasticità superiore, u sviluppu di sensori di forza di semiconductor, piezoresistive di siliciu impurtante è capacitive dui, anu una piccula dimensione, un pesu ligeru, vantaghji d'alta sensibilità, hè largamente utilizatu in forza di semiconductor. sensori. Quandu un semiconductor hè stressatu in sopra nantu à un cristallu, a so resistività cambierà. A relazione trà u cambiamentu di resistività di u cunduttore è u stress hè chjamata effettu piezoresistivu di semiconductor, è u sensoru di quantità meccanica fatta di questu effettu hè chjamatu sensore di forza piezoresistiva, chì hà dui tipi, unu hè u sensoru fattu di u strain gauge semiconductor incollatu nantu à u. elementu elasticu, chì hè chjamatu sensor piezoresistive incollatu. L'altru hè a resistenza di diffusione fatta di tecnulugia di circuiti integrati nantu à u sustrato di materiale semiconductor, cusì chì u strain gauge è u sustrato di siliciu formanu u stessu sensoru sanu, chjamatu sensor piezoresistive diffusion. Hà e caratteristiche di alta sensibilità, alta precisione, piccula dimensione, pesu ligeru, alta frequenza di travagliu, struttura simplice, travagliu affidabile è longa vita.