U sensoru di pressione di semiconductor comunmente utilizatu usa wafer di siliciu di tipu N cum'è sustrato. Prima, u wafer di siliciu hè fattu in una parte elastica chì sustene u stress cù una certa geometria. À a parte di stress-bearing di u wafer di siliciu, quattru resistori di diffusione di P-tipu sò fatti longu diverse direzzione di cristalli, è dopu un ponte Wheatstone di quattru braccia hè furmatu cù questi quattru resistori. Sutta l'azzione di a forza esterna, i cambiamenti di i valori di resistenza diventanu signali elettrici. Stu ponte di wheatstone cù effettu di pressione hè u core di u sensoru di pressione, chì hè di solitu chjamatu ponte piezoresistivu (cum'è mostra in Figura 1). E caratteristiche di u ponte piezoresistivu sò i seguenti: ① i valori di resistenza di i quattru braccia di u ponte sò uguali (tutti r0); ② L'effettu piezoresistivu di l'armi adiacenti di u ponte hè uguali in valore è oppostu in signu; ③ U coefficient di temperatura di resistenza di i quattru bracci di u ponte hè u listessu, è sò sempre à a stessa temperatura. In fig. 1, R0 hè u valore di resistenza senza stress à a temperatura di l'ambienti; RT hè u cambiamentu causatu da u coefficient di temperatura di resistenza (α) quandu a temperatura cambia; Υ Rδ hè u cambiamentu di resistenza causatu da a deformazione (ε); A tensione di output di u ponte hè u = I0 Δ Rδ = I0RGδ (ponte di fonte di corrente constante).

Induve I0 hè a tensione di fonte di corrente constante è e hè a tensione di fonte di tensione constante. A tensione di output di u ponte piezoresistivu hè direttamente proporzionale à a tensione (ε) è ùn hà nunda di fà cù RT causata da u coefficient di resistenza di temperatura, chì riduce assai a deriva di temperatura di u sensor. U sensoru di pressione di semiconductor più utilizatu hè un sensoru per a rilevazione di a pressione di fluidu. A so struttura principale hè una capsula fatta di siliciu monocristalinu (cum'è mostra in Figura 2). U diafragma hè fattu in una tazza, è u fondu di a tazza hè a parte chì porta a forza esterna, è u ponte di pressione hè fatta nantu à u fondu di a tazza. U pedestal di l'anellu hè fattu di u stessu materiale di siliciu unicu cristallu, è dopu u diafragma hè ligatu à u pedestal. Stu tipu di sensori di pressione hà i vantaghji di una alta sensibilità, un picculu voluminu è a solidità, è hè stata largamente utilizata in l'aviazione, a navigazione spaziale, l'automatizazione è i strumenti medichi.