Applicabile à u sensore di pressione common rail di carburante Passat 06E906051K

1. Un metudu per furmà un sensor di pressione, cumpresu:

Fornisce un sustrato semiconduttore, induve un primu stratu dielettricu interlayer, un primu stratu dielettricu interlayer è un secondu stratu dielettricu interlayer sò furmati nantu à u sustrato semiconductor.

Una piastra di l'elettrodu più bassu in u primu stratu dielettricu interlayer, un primu elettrodu mutuale situatu nantu à a listessa strata cum'è a piastra di l'elettrodu inferiore è distanziatu.

strati di cunnessione;

Formendu una strata sacrificale sopra à u pianu polare inferjuri;

Formazione di una placa di l'elettrodu superiore nantu à a prima strata dielettrica interlayer, a prima strata di interconnessione è a strata sacrificale;

Dopu à furmà a strata sacrificale è prima di furmà a piastra superiore, in a prima capa di interconnessione

Fendu un groove di cunnessione, è riempie u groove di cunnessione cù a piastra superiore per cunnette elettricamente cù a prima capa di interconnessione; Or,

Dopu à furmà a piastra di l'elettrodu superiore, i groove di cunnessione sò furmati in a piastra di l'elettrodu superiore è a prima capa di interconnessione, chì

Formazione di una strata conductiva chì cunnetta u platu di l'elettrodu superiore è u primu stratu di interconnessione in u groove di cunnessione;

Dopu avè cunnessu elettricamente a piastra superiore è a prima capa di interconnessione, sguassate a capa sacrificale per furmà una cavità.

2. U metudu per furmà un sensor di pressione secondu a rivendicazione 1, induve in u primu stratu

U metudu per furmà a strata sacrificale nantu à a strata dielettrica interlayer comprende i seguenti passi:

Depositu una strata di materiale sacrificale nantu à a prima strata dielettrica interlayer;

Pattering a strata di materiale sacrificale per furmà una strata sacrificale.

3. U metudu per furmà u sensoru di pressione secondu a rivendicazione 2, induve a fotolitografia è l'incisione sò usate.

A strata di materiale sacrificale hè modellata da u prucessu di incisione.

4. U metudu per furmà un sensor di pressione secondu a rivendicazione 3, induve a strata sacrificale

U materiale hè carboniu amorfu o germanium.

5. U metudu per furmà un sensor di pressione secondu a rivendicazione 4, induve a strata sacrificale

U materiale hè carbone amorfu;

I gasi di incisione utilizati in u prucessu di incisione di a capa di materiale sacrificale include O2, CO, N2 è Ar;

I paràmetri in u prucessu di incisione di a capa di materiale sacrificale sò: a gamma di flussu di O2 hè 18 SCCM ~ 22 SCCM, è u flussu di CO hè 10%.

U flussu varieghja da 90 SCCM à 110 SCCM, u flussu di N2 varieghja da 90 SCCM à 110 SCCM, è u flussu di Ar.

A gamma hè 90 SCCM ~ 110 SCCM, a gamma di pressione hè 90 mtor ~ 110 mtor, è u putere di bias hè

540w~660w.